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| 公開特許公報 |
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| 出願番号： | 特願2000-191840 |
| 出願日： | 平成12年5月22日 |
| 優先権主張番号： | 特願2000-104123 |
| 優先日： | 平成12年2月16日 |
| 優先権主張国： | 日本 |
| 出願人： |
500150573 株式会社ビースパッタ 京都府久世郡久御山町森川端97-1 |
| 発明者： |
伊達 哲也 京都府久世郡久御山町森川端97-1 株式会社ビースパッタ内 |
| 発明者： | 伊達 裕之 京都府久世郡久御山町森川端97-1 株式会社ビースパッタ内 |
| 【発明の名称】 | |
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基板への導電性薄膜の成膜方法と導電性薄膜の設けられた基板
【要約】
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